电子探针

electron microprobe：将由热灯丝发射出来的电子，以静电场加速，随之以静电透镜聚焦到试样表面极微小的一点上来激发该点（微体积）内诸化学元素的标志X射线，而后分析标志X射线谱或∕和谱线的强度，以进行该点的化学成分的定性或∕和定量分析的仪器。